簡易型中央輸送控制系統 eMax/24

簡易型中央輸送控制系統 eMax/24

此控制系統除了可管理多達 24 台真空裝載機(一組包含真空泵的系統),或多達 22 台真空裝載機(兩組皆提供自動切換功能的系統)外,還能控制旁通閥以及過濾器清潔和淨化閥。

 

  • 顯示畫面由一台高解析度 QVGA 3.5“ TFT 彩色顯示器提供,使用者介面操作簡便,可輕鬆檢視製程參數。
  • 結構完善的總覽畫面
  • 用於研磨用途及目視控制材料流動情況。
  • 多種設定選項,
  • 例如自動泵浦切換。
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